高科技前瞻技術發展計畫第二期計畫
本計畫目的在於激勵廠商投入高科技設備前瞻技術發展之研究，推動製程設備產業上下游自發性整合與投入提升製程零組件前瞻技術，促進產業轉型與技術升級及提升機械設備價值。
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